一、产品概述

HRSR膜厚传感器提供半导体复杂膜层在线量测解决方案。

二、膜厚传感器产品特点

■ 超精密厚度测量，满足5μm-800um的厚度监测 ；

■ 可测量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ；

■ 对恶劣的工业环境适应性高 ；

■ 对热、湿或振动不敏感；

■ 采样速率大于3KHz。

三、测量原理

更多详情咨询：

https://www.chem17.com/st445418/erlist_2503158.html 

http://www.whyg88.com.cn/Products-38286595.html