美国ALICAT21S系列抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21S系列数字式质量流量控制器可用于快速准确地测量并控制腐蚀性气体(如NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。  
气体流量控制器产品特点：  
●数字化产品  
●多参数显示和输出：温度、压力、流量等  
●多参数控制:体积流量、质量流量和压力  
●可选高精度：优于0.5%  
●高量程比100:1  
●响应时间快仅需100ms(可调)  
●内置130种常规以及腐蚀性气体（如介质是lv气CL2或二氧化硫SO2，订货时，需特殊说明）  
●可现场标定混合气体，并存储20种混合气  
●可适用于诸多腐蚀性气体  
气体流量控制器技术参数：  
介质要求：洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可  
介质种类：内置了130种气体，请咨询  
一台设备内置所有气体，用户可现场选择  
量程：从0-0.5SCCM到0-5000SLPM（详情请咨询）  
量程比：100:1  
max显示流量：102.4%FS  
显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度  
精度：±(0.8%RD0.2%FS)，RD-读数FS-满量程
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http://www.longradar.cn/SonList-1593461.html 
https://www.chem17.com/st711/product_28832753.html