等离子表面处理仪技术特点：  
1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。  
2.实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验  
3.实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验  
4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可  
5采用电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂  
6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染  
7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠，具有自动保护功能。  
8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。  
9.实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率.  
10.能够方便的接入MFC，实现对气体流量和真空度的准确控制和监测。  
11.LED+金属按键控制方式，操作方便稳定可靠。  
12.双气路设计可以满足更多的实验需求。  
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