磁悬浮复合分子泵  
Osaka复合分子泵TG-M系列使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。  
TG-M系列磁悬浮分子泵产品型号：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M  
特点  
任意方位安装  
轻巧设计  
节能  
分子泵停止与启动时间短  
附带维护警报机能  
低振动  
无需调整  
自动校准  
可控制转子旋转速度  
大流量排气  
多种通信模式  
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE  
应用  
半导体制造  
电子排气，离子源排气  
FPD制造  
表面处理，表面改质  
各种电子部件的制造  
分析，试验装置  
管球制造，光学部件制造  
加速器，放射线设施，核聚变研究  
热处理  
研究开发  
更多访问：
http://www.shyc.net/Products-37038971.html 
https://www.chem17.com/st519780/list_2346043.html