赛默飞ICP-MS是获得R可的痕量元素分析和定量的技术。 其应用范围从半导体工业到地质和环保分析、从生物研究到材料科学。赛默飞ICP-MS是元素信号的多原子干扰，这种干扰主要来自氩或样品基质。  高质量分辨率是识别和消除干扰的蕞佳标准。 即使没有样品制备步骤，消除干涉也能准确可K地进行痕量级多元素定量分析。

工作条件：
ICP：主要包括ICP功率，载气、辅助气和冷却气流量。样品提升量等，ICP功率一般为1KW左右，冷却气流量为15L/min，辅助气流量和载气流量约为1L/min，调节载气流量会影响测量灵敏度。样品提升量为1ml/min。
接口装置：ICP产生的离子通过接口装置进入质谱仪，接口装置的主要参数是采样S度，也即采样锥孔与焰炬的距离，要调整两个锥孔的距离和对中，同时要调整透镜电压，使离子有H好的聚焦。
质谱仪：主要是设置扫描的范围。为了减少空气中成分的干扰，一般要避免采集N2、O2、Ar等离子，进行定量分析时，质谱扫描要挑选没有其它元素及氧化物干扰的质量。
同时还要有合适的倍增器电压。
事实上，在每次分析之前，需要用多元素标准溶液对仪器整体性能进行测试，如果仪器灵敏度能达到预期水平，则仪器不再需要调整，如果灵敏度偏低，则需要调节载气流量，锥孔位置和透镜电压等参数。

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